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An electrostatic MEMS spring actuator with large stroke and out-of-plane actuation
  • ISSN号：0960-1317
  • 期刊名称：Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间：0
  • 页码：-
  • 相关项目：自适应光学系统中MEMS变形镜的空间和时间特性研究
作者： Hu, Fangrong|Wang, Weiming|Yao, Jun|
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