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适用于极端环境的高精度压力传感器开发与标定

ISSN号：1004-1699
期刊名称：《传感技术学报》
时间：0
分类：TP212.1[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
作者机构：[1]浙江大学生物医学工程与仪器科学学院,杭州,310027 浙江大学生物医学工程与仪器科学学院,杭州,310027 浙江大学生物医学工程与仪器科学学院,杭州,310027 浙江大学力学实验教学中心,杭州,310027 中科院广州地球化学研究所,广州,510640
相关基金：国家海底区域研究开发'十五'攻关资助项目(DY105-03-01-16);国家自然科学基金仪器专项资助(40327001)

中文摘要：

设计一种可应用于高温高压、强腐蚀性环境的压力检测传感器,以满足极端环境科学研究的需求.利用可耐高温高压、抗腐蚀、具有高屈服强度的钛金属作为传感器材料,采用组合式结构和特殊的圆膜片贴片与组桥技术,开发了适合于极端环境工作的钛压力传感器,并应用多维线性插值算法对传感器进行标定,以提高检测精度.实验检测结果表明,钛压力传感器在60MPa、400℃环境下的酸性或碱性溶液中都能正常工作,检测精度可以达到±0.2﹪FS以内,满足极端环境高精度压力检测需求.

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