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一种抗高冲击微机械陀螺的设计与制造
  • ISSN号:0946-7076
  • 期刊名称:Microsystem Technologies
  • 时间:2014.1.1
  • 页码:137-144
  • 相关项目:面向微结构与微器件的健壮性设计理论与方法研究
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