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A hybrid-type electrostatically driven microgripper with an integrated vacuum tool
ISSN号:0924-4247
期刊名称:Sensors and Actuators A-Physical
时间:0
页码:320-327
语言:英文
相关项目:微系统装配与集成
作者:
Rong, Weibin|Li, Xinxin|Chen, Tao|Chen, Liguo|Sun, Lining|
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期刊论文 25
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专利 4
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