采用经过等离子喷涂处理的8%(质量分数,下同)YSZ纯T′相陶瓷粉体,经过高能球磨和高能搅拌磨处理后分别在1400、1450、1500、1600℃下进行放电等离子烧结,保温5~15min,得到不同显微结构的陶瓷样品。XRD分析结果显示其仍保持纯T′相。通过对其粉体和烧结后样品显微形貌的分析,探讨晶粒长大与烧结条件的关系,从而得到最优的YSZ纯T′相陶瓷制备工艺为1450℃/5min。