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Effect of surface characteristic on room-temperature silicon direct bonding (杂志影响因子: 1.933)
  • ISSN号:0924-4247
  • 期刊名称:Sensors and Actuators A-Physical
  • 时间:0
  • 页码:335-341
  • 相关项目:热/声激励的高密度超细间距倒装焊缺陷诊断方法研究
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