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APCVD法制备ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究
  • 期刊名称：Scientific Journal of Microelectronics
  • 时间：2014.4.17
  • 页码：6-10
  • 相关项目：多元氧化物结构复合式透明导电薄膜的研究
作者： 许莹|侯林艳|马鹏华|
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