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Numerical simulation and experimentation of adjusting the curvatures of micro-cantilevers using the
  • ISSN号:0143-8166
  • 期刊名称:Optics and Lasers in Engineering
  • 时间:2013.4
  • 页码:460-471
  • 相关项目:强脉冲激光驱动飞片加载金属箔板微成形基础研究
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