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非故意掺杂GaN薄膜方块电阻与载气中N2比例关系研究.
  • 期刊名称:物理学报, 2008, 57(11): 7233-7237.
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  • 相关项目:半导体光电子器件实现高频(10-40 GHz)工作中的若干关键科学问题研究
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