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应用于TGV的ICP玻璃刻蚀工艺研究
  • ISSN号：1672-7126
  • 期刊名称：真空科学与技术学报
  • 时间：2014.11.15
  • 页码：1222-1227
  • 相关项目：面向高密度三维集成的玻璃等离子体深刻蚀技术研究
作者： 靖向萌|王京|杨盟|于大全|
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Investigationof fused silica glass etching using C4F8/Ar inductively coupled plasmas forthrough glas
期刊信息
  • 《真空科学与技术学报》
  • 中国科技核心期刊
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  • 国际标准刊号：ISSN：1672-7126
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5177/TB
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  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:4421