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PECVD 法制备a-Si(1-x)Cx∶H 薄
  • 期刊名称：真空科学与技术学报，第25 卷第3 期 (2005)192-195+203
  • 时间：0
  • 相关项目：溶胶-凝胶法高性能PST薄膜材料制备与性能研究
作者： 张翼英，杜丕一，韩高荣，翁文剑
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溶胶-凝胶法高性能PST薄膜材料制备与性能研究
期刊论文 45
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