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真空电弧镀膜等离子体参数和测量
  • 期刊名称：微细加工技术
  • 时间：0
  • 页码：1997年第1期
  • 语言：中文
  • 相关项目：真空电弧沉积非晶硅的理论与实验研究
作者： 邹积岩，杨磊，程仲元，张汉明|
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