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数据挖掘在芯片生产过程数据分析中的应用
  • ISSN号：1003-353X
  • 期刊名称：《半导体技术》
  • 时间：0
  • 分类：TP18[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—控制理论与控制工程] N37[自然科学总论]
  • 作者机构：[1]同济大学控制科学与工程系,上海200092, [2]机械制造系统工程国家重点实验室,西安710049
  • 相关基金：973项目（20002CB312202-03）;国家自然科学基金资助项目（60374005,60343002）
作者： 王令群[1,2], 郑应平[1,2], 周爱华[1]
关键词： 数据挖掘, 半导体生产线, 粗糙集, 统计分析, data mining, semiconductor manufacturing line, rough set, statistical analysis
中文摘要：

介绍了如何使用基于粗糙集理论数据挖掘技术，对生产线的生产率和成品率进行快速的预测。在出现产量突然降低时，使用统计分析方法迅速找到使其降低的主要原因，然后就可对其采取有效的措施，从而满足高产量的要求。

英文摘要：

The fast evaluation of productivity and yields of manufacturing line are made by rough sets data mining techniques. Timely predict the yield and quickly discover the root causes of low-yield are both very important. Data mining is used to meet the above demands.

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期刊信息
  • 《半导体技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 主编：赵小玲
  • 地址：石家庄179信箱46分箱
  • 邮编：050051
  • 邮箱：informax@heinfo.net
  • 电话：0311-87091339
  • 国际标准刊号：ISSN：1003-353X
  • 国内统一刊号：ISSN：13-1109/TN
  • 邮发代号:18-65
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,中国科技论文统计用刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:6070