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Study on structure optimization of a piezoelectric cantilever with a proof mass for vibration-powere
  • ISSN号：1071-1023
  • 期刊名称：Journal of Vacuum Science & Technology B
  • 时间：0
  • 页码：1288-1290
  • 语言：英文
  • 相关项目：双反馈和数字Q微梁调控方法及AFM高速成像技术的研究
作者： 鄢志丹|傅星|胡小唐|郭彤|李雯|李艳宁|
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期刊论文 14 专利 3
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