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改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜
  • ISSN号：1001-9731
  • 期刊名称：《功能材料》
  • 时间：0
  • 分类：TM223[电气工程—电工理论与新技术;一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构：[1]大连理工大学,微系统中心,辽宁,大连,116023 大连理工大学,微系统中心,辽宁,大连,116023 大连理工大学,电子工程系,辽宁,大连,116023 大连理工大学,电子工程系,辽宁,大连,116023 Department of Mechanical Engineering, University of Minnesota, 111 Church Street SE, Minneapolis, MN 55455, USA 大连理工大学,微系统中心,辽宁,大连,116023
  • 相关基金：国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90207003)
作者： 刘梦伟[1], 佟建华[1], 王兢[1], 董维杰[1], 崔天宏[1], 王立鼎[1]
关键词： 溶胶-凝胶, PZT薄膜, 厚度, 介电性能
中文摘要：

采用改进的溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备了不同厚度的Pb(Zr0.50Ti0.50)O3薄膜,在600℃的退火条件下获得了晶格完善的钙钛矿结构.通过前驱体溶液的差热(DTA)、热重(TGA)实验以及PZT膜加热到不同温度的物相转化分析了PZT薄膜的相结构演化过程.采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜表征了PZT薄膜的物相和微观形貌,用HP4194A阻抗分析仪测量了薄膜的介电性能.实验结果表明,随着退火循环次数的增多,PZT(111)相含量增加;薄膜的晶粒大小不随薄膜厚度改变;薄膜晶粒呈柱状生长;薄膜的介电常数随测量频率的增加而降低,随薄膜厚度增加而增加.

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期刊信息
  • 《功能材料》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:重庆材料研究院
  • 主办单位:重庆材料研究院
  • 主编：黄伯云
  • 地址：重庆北碚区蔡家工业园嘉德大道8号
  • 邮编：400707
  • 邮箱：gnclwb@126.com
  • 电话：023-68264739
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-9731
  • 国内统一刊号：ISSN：50-1099/TH
  • 邮发代号:78-6
  • 获奖情况:
  • 2008、2011年连续获中国精品科技期刊,2010获重庆市双十佳期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:30166