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Two-Dimensional Self-Consistent Kinetic Model for Solenoidal Inductively Coupled Plasma
  • ISSN号：1009-0630
  • 期刊名称：《等离子体科学与技术：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TN305.7[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]State Key Laboratory of Materials Modification, Department of Physics, Dalian Universityof Technology, Dalian 116024, China
  • 相关基金：supported by the National Science Foundation of China （Nos.10376003 10572035）
作者： 毛明[1], 戴忠玲[1], 王友年[1]
关键词： 电感耦合等离子体, 二维自调和动力学模型, 螺线管, 电子能分布, 蚀刻, two-dimensional, inductively coupled plasma, electron energy distribution, power deposition
中文摘要：

E-mail address of MAO Ming： maoming@student.dlut.edu.cn

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期刊信息
  • 《等离子体科学与技术：英文版》
  • 主管单位:中国科学院 中国科协
  • 主办单位:中国科学院等离子体物理研究所 中国力学学会
  • 主编：万元熙、谢纪康
  • 地址：合肥市1126信箱
  • 邮编：230031
  • 邮箱：pst@ipp.ac.cn
  • 电话：0551-5591617 5591388
  • 国际标准刊号：ISSN：1009-0630
  • 国内统一刊号：ISSN：34-1187/TL
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,美国科学引文索引（扩展库）,英国科学文摘数据库
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