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硅基PZT薄膜型悬臂的特性及其在
  • 期刊名称：仪器仪表学报，25(4)：194-195，(2004)
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 佟建华*，刘梦伟，崔岩， 董维杰
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期刊论文 75 会议论文 11
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