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微力学测试仪在MEMS键合强度测试
  • 期刊名称：机械强度. 27(3):331-334. 2005,3
  • 时间：0
  • 相关项目：高量程微加速度计中关键力学检测技术的研究
作者： 郇勇,张泰华,杨业敏等
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