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面投影微立体光刻系统的开发和研究
  • ISSN号：1009-0134
  • 期刊名称：《制造业自动化》
  • 时间：0
  • 分类：TG659[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
  • 作者机构：[1]苏州大学物理科学与技术学院,苏州215006, [2]中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州215125
  • 相关基金：国家重点基础研究发展计划（G2009CB929300）; 国家自然科学基金委员会青年科学基金项目资助（60807039/F050105）
作者： 周庚侠[1,2], 班书宝[1,2], 吴东岷[2], 顾济华[1]
关键词： 面投影微立体光刻, 复合材料, MTF测量, 树脂固化曲线
中文摘要：

面投影微立体光刻由于具有加工精确度高、分辨率高、速度快等特点而成为最有前途的微立体加工技术之一。本文介绍了实验室开发的用于复杂器件制作的面投影微立体光刻系统,该系统中采用LED模组作为光源,为了适用粘度大的固化材料的加工,设计新的树脂槽和涂覆系统。对系统中使用的投影镜头的光学分辨率以及树脂的工作曲线进行了测量,系统的加工横线分辨率可以达到14μm。利用该系统成功制作了齿轮的模型。

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期刊信息
  • 《制造业自动化》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国机械工业联合会
  • 主办单位:北京机械工业自动化研究所
  • 主编：陈维
  • 地址：北京德胜门外教场口1号
  • 邮编：100011
  • 邮箱：maogp@riamb.ac.cn
  • 电话：010-62372961
  • 国际标准刊号：ISSN：1009-0134
  • 国内统一刊号：ISSN：11-4389/TP
  • 邮发代号:2-324
  • 获奖情况:
  • 机械行业优秀期刊,中国期刊方阵“双效”期刊,获2004-2006年机械行业优秀期刊二等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）
  • 被引量:17230