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AlN 薄膜的热应力模拟计算
  • 期刊名称：光机电信息
  • 时间：2011.1.1
  • 页码：10-14
  • 相关项目：非圆环形光学微谐振腔量子级联激光器研究
作者： 邹微微|王玉霞|徐扬|张秀|
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