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大直径硅晶片化学机械抛光及其终
  • 期刊名称：半导体技术，2004, 29(6): 24-29
  • 时间：0
  • 相关项目：先进电子制造中的重要科学技术问题研究
作者： 罗余庆，康仁科，郭东明，金洙吉
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