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Field-effect piezoresistors for vibration detection of nanobeams by using monolithically integrated
  • ISSN号：0960-1317
  • 期刊名称：Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间：2013.1.1
  • 页码：-
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作者： Haitao Cheng|Heng Yang|Xinxin Li|Yuelin Wang|
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