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Finite element analysis of lateral field excited thickness shear mode film bulk acoustic resonator
  • ISSN号:0332-1649
  • 期刊名称:Compel-The International Journal for Computation a
  • 时间:2012
  • 页码:1892-1900
  • 相关项目:集成化射频高Q薄膜体声波谐振器
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