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Development of a Novel Polishing Pad with a Phyllotactic Pattern, and Experimental Studies
  • ISSN号:0361-5235
  • 期刊名称:Journal of Electronic Materials
  • 时间:2014.7.31
  • 页码:2738-2746
  • 相关项目:叶序排布超硬磨料砂轮的磨削机理研究
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