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中文摘要：
本项目在对制备无痛型金刚石微阵列的新工艺新技术进行探索过程中，开发了一种新的、从熔盐中获得活性碳原子以制备碳薄膜的电解沉积方法。研究了基底材料种类、脉冲频率和碳酸盐离子浓度对沉积涂层的影响。结果表明熔盐中碳酸盐离子在电解作用下能被还原为碳原子；引入脉冲和适当降低碳酸盐离子的浓度利于获得活性碳原子、加速沉积涂层和提高涂层质量。在不同衬底上的试验结果表明，在适当的试验条件下，碳膜能在镍、铜、铁和钛衬底上用电解沉积方法获得。 关键词金刚石，碳薄膜，电沉积，脉冲频率
结论摘要：
英文主题词diamond; carbon film; electrolytic deposition method; pulse frequency
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