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静电力平衡式闭环微力探针的设计与优化
项目名称: 静电力平衡式闭环微力探针的设计与优化
批准号:436838
项目来源:2006年教育部科学技术研究重点项目
研究期限:2006-03-
项目负责人:李疆
依托单位:北京科技大学
批准年度:2006
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