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面向14纳米及以下工艺的亚皮秒精度信号片上测量关键技术研究
项目名称:面向14纳米及以下工艺的亚皮秒精度信号片上测量关键技术研究
项目类别:面上项目
批准号:61474098
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:张培勇
依托单位:浙江大学
批准年度:2014
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