位置：立项数据库 > 立项详情页
等离子体离子注入材料内表面改性和制膜
  • 项目名称：等离子体离子注入材料内表面改性和制膜
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50071068
  • 申请代码：E0110
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2001-01-01-2003-12-01
  • 项目负责人：杨思泽
  • 负责人职称：研究员
  • 依托单位：中国科学院物理研究所
  • 批准年度：2000
中文摘要：

等离子体源离子注入是一种新型的离子注入技术，是目前材料改性技术的热点，广泛用于金属及半导体材料的表面处理。我们将对等离子体源离子注入内表面改性这一难点和热点进行研究，实现圆筒形样品内表面离子注入和薄膜沉积，以达到综合改善内表面的机械性能的目的。这一研究如果成功，将具有重大的工业应用价值。

中文主题词： 等离子体源离子注入，内表面该性，薄膜沉积
结论摘要：

英文主题词Plasma source ion implantation/Inner surface modification/Film deposion

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 8
  • 1
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
Pulsed ion sheath dynamics in acylindrical bore for inner surface grid-enhanced plasma source ion im
内表面栅极等离子体源离子注入TiN 薄膜及其特性研
Influence of grid and target radius and ion-neutral collisions on grid-enhanced plasma source ion im
Influence of ion species ratio on grid-enhanced plasma source ion implantation
高能等离子体辅助CVD法新型纳米碳膜的制备及分析
金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究
A new method for inner surface modification by plasma source ion implantation (PSII)
Inner surface coating of TiN by grid-enhanced plasma source ion implantation (GEPSII) technique
会议论文
Review of Progress on the Study of Tubular Inner Surface Modification by ion implantation
相关项目
用于自形成扩散阻挡层的铜基稀合金薄膜在超临界流体中的沉积机理研究
期刊论文 8 会议论文 2
球冠织构表面离子束增强沉积复合薄膜研究
期刊论文 3 会议论文 2
杨思泽的项目
等离子体-化学催化法对废气同时脱硫脱硝处理的研究
期刊论文 13 会议论文 2
新型等离子体法制备的AlN陶瓷与金属基的结合与界面
期刊论文 7
多类等离子体技术制备功能薄膜的应用研究
期刊论文 1
大功率回旋电子束结合微波加热等离子体的研究
等离子体科学与应用国际会议
HEDP法材料表面金属化及界面研究
期刊论文 6
高能回旋电子束ECRH捕获的磁镜堆芯的新概念研究
用于材料处理的等离子体源离子注入和各类等离子体源的联合研究
管件内壁离子注入新技术的机理研究
期刊论文 11 会议论文 6
第6届国际离子束及等离子体材料表面改性会议
管件内表面等离子体电解氧化的机理与应用研究
期刊论文 13 会议论文 1
低压放电中低高能离子对金属和合金中纳米晶粒结构的形成规律及机制研究
等离子体枪的物理实验研究
期刊论文 4
高能量密度等离子体法制备立方氮化硼薄膜
期刊论文 6
高能量密度等离子体用于材料表面改性研究