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超精表面加工中基于纳米颗粒接触原子磨损的无损伤去除机理研究
项目名称:超精表面加工中基于纳米颗粒接触原子磨损的无损伤去除机理研究
项目类别:面上项目
批准号:51375255
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:郭丹
依托单位:清华大学
批准年度:2013
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
布线图案导致的集成电路平坦化损伤研究
郭丹的项目
超光滑表面加工中纳米颗粒与表面间的微观作用机制研究
期刊论文 10
会议论文 3
超低k介质/铜异质表面平坦化中的界面原子/分子迁移行为与损伤机制研究
期刊论文 13
会议论文 5
获奖 2
著作 1