中文摘要：

提出一种阳极注入效率可控的(IEC)GCT 结构，它既有优良的大功率器件特性，又有简单的制作工艺。探索了IEC-GCT 器件在高压大电流条件下的工作机理，确立了影响高温特性的关键物理参数模型，建立高温特性分析的模型，移植到器件与工艺模拟软件ISE中，对IEC-GCT 结构在高温下的动、静态特性进行深入的分析与优化设计；采用一种新的改进型门-阴极图形设计了IEC-GCT 管芯制作的光刻版图；研究了器件制作的关键技术，采用模拟分析和实验结合的方法探索了IEC-GCT 阳极多层金属化电极的制作方法及其工艺条件，确定了IEC-GCT 结构的工艺实施方案；引入波状p基区技术，提出改进的IEC-GCT器件结构，改善了关断特性和高温特性；提出波状p基区IEC-GCT结构的工艺方案。研究结果为在国内现有的工艺水平下制作大功率GCT 器件提供了简单可行的技术途径。