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面向大尺寸、高密度光栅的并行激光直写新技术研究
项目名称:面向大尺寸、高密度光栅的并行激光直写新技术研究
项目类别:青年科学基金项目
批准号:61307064
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:麻健勇
依托单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
批准年度:2013
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