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晶圆原子尺度粗糙度形成过程中机械化学协同作用机理
  • 项目名称：晶圆原子尺度粗糙度形成过程中机械化学协同作用机理
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：51405511
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：李静
  • 依托单位：中国石油大学（华东）
  • 批准年度：2014
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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期刊论文
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