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 利用同步辐射LIGA技术开展光热微驱动器的研究和应用
  • 项目名称: 利用同步辐射LIGA技术开展光热微驱动器的研究和应用
  • 批准号:Z1110196
  • 项目来源:浙江省自然科学基金重点项目
  • 研究期限:2011-03-
  • 项目负责人:张冬仙
  • 依托单位:浙江大学
  • 批准年度:0

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 6
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
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