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混流晶圆加工自动化组合设备建模与调度优化
  • 项目名称：混流晶圆加工自动化组合设备建模与调度优化
  • 项目类别：地区科学基金项目
  • 批准号：51665018
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：潘春荣
  • 依托单位：江西理工大学
  • 批准年度：2016
潘春荣的项目
　基于混合晶圆产品加工的优化控制研究
晶圆制造中具有多约束耦合的组合设备调度与运行控制优化
期刊论文 7