中文摘要：

研制纳米级稀土永（硬）磁多层耦合型颗粒膜介质，特别深入研究这种新型薄膜的垂直磁化机理、颗粒间及层间耦合机制、基本制备工艺条件及产业化的关键技术要求；利用基片加偏压、添加新元素及设计不同耦合膜层等优化方法，制备出高性能的硬磁薄膜介质；由Neel-Arrhenius方程等理论，深入分析并建立这种磁记录介质的晶粒尺寸和分布、热扰动、信噪比SNR及存储密度等性能之间的关系模型，建立此种薄膜介质的磁性能（包

结论摘要：

成功研制了较高性能的纳米级稀土永(硬)磁多层耦合型颗粒膜介质；较深入研究了这种新型薄膜的基本工艺、垂直磁化机理、颗粒间及层间耦合机制及模型，优化了基本制备工艺参数及产业化的关键技术要求；充分利用了新的基片清洗处理方法、基片加偏压、添加稀土或过渡族元素及设计不同耦合膜层等优化方法；由现代物理研究方法及理论，深入分析了这种磁记录介质的成分、晶粒大小和分布、热扰动等因素之间的关系模型机制，建立了此种薄膜介质的磁性能，诸如矫顽力Hc、交换耦合能Jex、磁化能Ms、磁晶各向异性能Kμ及薄膜成分结构间关系的数学模型；分析研究了系列耦合膜颗粒的最小稳定尺寸，以充分提高存储密度。优化后的室温下薄膜性能，如垂直磁化矫顽力Hc达到4.85-5.6 kOe, 矩形比达0.99, 且平均颗粒尺寸(nm), 返转体积 (V*，cm3). 磁化强度(Ms，emu/cm3)都得到很好的优化。此项目的研究将对纳米级稀土永磁金属膜技术及在微纳机电领域的应用，超高密度垂直磁记录技术，多层交换耦合膜技术等我国国民经济发展急需的技术，具有非常重要的实用价值。