中文摘要：

波导结构是光电子器件的基本结构，能在光学材料上制作出符合器件功能要求的波导结构是波导实现应用的基础，因此探索新的波导制作方法具有重要的意义。基于我们以往和最近的研究成果，我们提出了采用原子序数较大的离子低剂量注入光学材料可以在材料表面形成异常折射率增高的光学波导的新方法，该方法与传统的外延，扩散，交换和轻离子注入相比具有注入成本低，适用材料广，此外这种波导仍保留原有晶体的光学性质，并且没有隧道效应

结论摘要：

波导结构是光电子器件的基本结构，能在光学材料上制作出符合器件功能要求的波导结构是波导实现应用的基础，探索新的波导制备方法具有重要的意义。"重离子注入波导新方法的研究"基于我们以往离子注入波导的研究基础和成果，着重探讨了采用原子序数较大的离子低剂量注入光学晶体材料，在材料表面形成折射率增高的波导结构的新方法。该方法与传统的外延、扩散、交换和轻离子注入相比成本低、适用材料广。同时这种波导仍保留了原有晶体的光学性质，并且因为避免了隧道效应大大降低了波导的传输损耗。近3年来我们在尝试了多种注入和退火条件的基础上，确定了比较合适的离子注入波导的制备条件，并成功地制成了具有可以同目前扩散和交换波导相媲美的低损耗的单模离子注入波导，为离子注入波导器件的制备迈出了重要的一步。由于离子注入波导的性质与波导中的折射率分布密切相关，而以往的方法都只能定性的描述多模波导，对低阶模尤其是单模波导的折射率分布一直以来都无法解决。在实验进行的同时，我们摸索出了一套理论描述单模离子注入波导中折射率分布的方法，解决了以往的各种方法都不能描述单模波导的问题。我们正在改进和验证其在其他晶体和波导结构上的适用性。