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CVD金刚石薄膜半导体器件组织演变的热力学和动力学
  • 项目名称：CVD金刚石薄膜半导体器件组织演变的热力学和动力学
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：59871065
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：金展鹏
  • 依托单位：中南大学
  • 批准年度：1998
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