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等效微重力晶体生长的研究
  • 项目名称:等效微重力晶体生长的研究
  • 项目类别:面上项目
  • 批准号:59972007
  • 申请代码:E0209
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2000-01-01-2002-12-01
  • 项目负责人:徐岳生
  • 负责人职称:教授
  • 依托单位:河北工业大学
  • 批准年度:1999
中文摘要:

半导体材料晶体生长向大直径发展,为抑制熔体严重的热对流,采用钕铁硼永磁体,向熔体空间引入磁场。当磁场强度达到某一临界强度时,熔体宏观对流被抑制。扩散是熔体中杂质输运的唯一机制(扩散控制),它等效太空微重力晶体生长。本项目研究半导体硅、砷化镓的等效微重力生长。其主要成果有国内、外首次设计制造出钕铁硼永磁体,能向熔体空间引入在100~2000Gs连续可调的"cusp"磁场;首次推导出直拉法生长晶体时引入磁场强度与等效微重力量级间的对应关系;控制马兰哥尼对流可灵活控制硅单晶中氧含量;引入磁场对应g=g0?0-3~g0?0-4条件下,生长硅单晶、砷化镓单晶,均匀性得到极大改善。等效微重力生长,为人工晶体生长,开拓了一个新的研究领域。


成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
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  • 著作
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