中文摘要：

磁场传感器应用十分广泛，特别在交通航海和通讯导航定位的发展尤为迅速。目前基于Hall效应和磁阻效应的半导体磁场传感器仅能测量磁场大小，为了测量磁场方向，需要多个传感器的组合，现在以MEMS技术开发的磁场传感器正广泛应用。本项目创新性地提出一种基于模态的MEMS磁场传感器方案，利用传感器结构不同模态下的不同振动方式，测量磁场大小和方向。该研究首先利用相关力学理论建立传感器的结构模型，用ANSYS软件对模型进行验证，接着对传感器的结构优化设计、引线框架的设计和塑封料的选择，实现多芯片的系统级封装设计。通过对本项目的研究，不仅提出了一种新的磁场传感原理为磁场测量提供新途径，也提出了一种新的磁场检出方法，并在实现传感器高可靠性封装上具有重要的实用价值。