中文摘要：

本项目主要研究Pb(ZrTi)O3:(PZT)薄膜在微波电磁场中的结晶过程与加热机制。用溶胶-凝胶法在不同底电极和不同基片材料上制备非晶态的PZT薄膜，然后在单模式2.45 GHz微波加热设备的微波电磁场中加热。研究不同铁电、介电性质的PZT薄膜在微波电磁场中的加热行为，电极、基片材料以及PZT/金属电极、PZT/导电氧化物电极、导体/半导体等异质界面对微波加热PZT薄膜的影响。研究微波加热的PZT薄膜的结晶过程并与通常加热方法相比较，探讨微波对铁电相的生成及其生长的影响，在实验上论证微波的"非热效应"是否存在。研究微波加热与通常加热方法的PZT薄膜的铁电和介电性质的差异，微波照射前后的钙钛矿相PZT薄膜的电畴类型、大小和分布的变化。揭示微波电磁场对铁电薄膜的结晶过程、铁电及介电性能的影响和作用机制，为微波加热低温制备铁电陶瓷薄膜提供理论指导。

结论摘要：

本项目主要研究了Pb(ZrTi)O3:(PZT)薄膜在微波电磁场中的结晶过程与加热机制。用溶胶-凝胶法在不同底电极和不同基片材料上制备了非晶态的PZT 薄膜，然后在单模式2.45 GHz 微波加热设备的微波电磁场中加热。研究了不同铁电、介电性质的PZT 薄膜在微波电磁场中的加热行为，电极、基片材料对微波加热PZT 薄膜的影响。研究了微波加热的PZT 薄膜的结晶过程，并与通常加热方法相比较，探讨了微波对铁电相的生成及其生长的影响，在实验上证明了微波的"非热效应"的存在。研究了利用微波加热与通常加热制备的PZT 薄膜的铁电和介电性质的差异，微波照射前后的钙钛矿相PZT 薄膜的电畴类型、大小和分布的变化。揭示了微波电磁场对铁电薄膜的结晶过程、铁电及介电性能的影响和作用机制，为微波加热低温制备铁电陶瓷薄膜提供了理论依据。