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短相干光显微干涉理论及摆臂式轮廓仪的非接触测量方法研究
项目名称:短相干光显微干涉理论及摆臂式轮廓仪的非接触测量方法研究
项目类别:联合基金项目
批准号:U1231111
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:陈磊
依托单位:南京理工大学
批准年度:2012
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
26
2
0
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期刊论文
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