电容式RF MEMS开关介质中电荷积累机理及其消除方法的研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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电容式RF MEMS开关介质中电荷积累机理及其消除方法的研究

项目名称：电容式RF MEMS开关介质中电荷积累机理及其消除方法的研究
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51205275
申请代码：E0512
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2013-01-01-2015-12-31

项目负责人：李刚
依托单位：太原理工大学
批准年度：2012

中文摘要：

电容式RF MEMS开关介质层中电荷积累所造成的开关不可逆转的"粘连"失效是制约其大规模商业化的瓶颈。近年来，诸多学者一直致力于解决该失效问题，至今依然没有找到消除电荷积累的有效方法，甚至电荷积累的基本机制尚不清晰。本项目将以用于开关的不同介质层中电荷的生成、注入、陷定和弛豫机理作为理论攻关；研究介质掺杂种类、位置、浓度对电荷积累、微波损耗的影响，寻求最佳掺杂材料在介质中引入"复合快态"，实现被陷电荷的快速自释放；设计研制双层介质膜开关结构，在保持激励电压和介质膜总厚度不变的情况下，研究厚度比对与电荷注入相关的电场、势垒、有效质量等各参数的影响，寻求最优厚度比平衡从正负两电极注入的异种电荷；设计静电斥力驱动式开关结构，避免开关处于"down"态位置时介质中产生的高电场，消除电荷积累的根源，为实现用于我国军事和商业无线通信领域的高可靠长寿命RF MEMS开关奠定理论基础和技术支撑。

中文主题词：电容式 RF MEMS 开关；可靠性；电荷积累；；

结论摘要：

英文主题词Capacitive RF MEMS switch；Reliability；Charge accumulation；；

成果综合统计