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中文摘要：
研究实现了光学测量系统超分辨光瞳滤波器的设计理论与技术，并成功实现了一种具有高空间分辨力的位相光瞳滤波式共焦显微测量方法与技术。取得的具体研究成果包括1）建立了基于矢量衍射理论的超分辨光瞳滤波器理论模型，将光学系统超分辨特征参数与光瞳滤波器光学性能参数、结构参数和光波偏振特性参数关联在一起；2）建立了基于矢量衍射理论的超分辨光瞳滤波器制作误差的影响分析模型；3）研究了基于设计制作的位相光瞳滤波器的差动共焦显微探测技术；4）研究了径向偏振光超分辨理论与生成技术；5）构建了基于超分辨光瞳滤波器的三维超分辨共焦显微测试实验装置等。该实验装置（方法）达到的技术指标为纵向分辨力优于2 纳米，横向分辨力优于0.10 微米。该完成项目可为光学系统的光瞳超分辨技术提供一种有效的设计理论依据，对于提高测试系统性能具有重要的理论意义与应用价值。
结论摘要：
英文主题词superresolution; pupil filter; vector diffraction; confocal; radial polarization
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