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用于微电子领域的环境友好型化学机械抛光工艺
  • 项目名称：用于微电子领域的环境友好型化学机械抛光工艺
  • 项目类别：国际(地区)合作与交流项目
  • 批准号：51211120436
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：路新春
  • 依托单位：清华大学
  • 批准年度：2012
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