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纳米级立体图象复制刻蚀新技术的刻蚀剂的研究
  • 项目名称：纳米级立体图象复制刻蚀新技术的刻蚀剂的研究
  • 项目类别：专项基金项目
  • 批准号：29383004
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：田昭武
  • 依托单位：厦门大学
  • 批准年度：1993
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