欢迎您!
东篱公司
退出
申报数据库
申报指南
立项数据库
成果数据库
期刊论文
会议论文
著 作
专 利
项目获奖数据库
位置:
立项数据库
> 立项详情页
甚高频放电下大面积容性耦合等离子体的电磁效应
项目名称:甚高频放电下大面积容性耦合等离子体的电磁效应
项目类别:重点项目
批准号:11335004
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:王友年
依托单位:大连理工大学
批准年度:2013
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
2
0
0
0
0
期刊论文
Effects of Low-Frequency Source on a Dual-Frequency Capacitive Sheath near a Concave Electrode
Simulation of Capacitively Coupled Dual-Frequency N2, O2, N2/O2 Discharges: Effects of External Parameters on Plasma Characteristics
王友年的项目
荷能离子团与固体材料互作用的自洽理论研究
期刊论文 1
俄中等离子体高科技研讨会
第9届国际核聚变技术大会
第三届微电子及等离子体技术国际会议
分子离子在固体材料中能量损失的理论研究
低气压多频等离子体与材料表面相互作用
期刊论文 80
会议论文 8
等离子体刻蚀过程的计算机模拟
第五届亚太等离子体科学与技术会议
射频感应耦合等离子体中放电模式转换机理的研究
期刊论文 12
会议论文 5
第六届亚太等离子体科学与技术会议
等离子体反应腔室的多场耦合模型建立及实验验证
期刊论文 4
等离子体断路开关的磁流体动力学数值模拟
期刊论文 6
会议论文 1