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硅薄膜的低温(350'C)外延生长技术及其机理研究
  • 项目名称：硅薄膜的低温(350'C)外延生长技术及其机理研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：69006404
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：韩高荣
  • 依托单位：浙江大学
  • 批准年度：1990
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