中文摘要：

（1）采用蒸发诱导自组装工艺制备了TiO2-SnO2、In2O3-SnO2以及Pd掺杂SnO2复合介孔氧化物薄膜。结果表明SnO2、In2O3以及Pd的复合提高元件的气敏特性，0.5%Pd-SnO2元件在最佳工作温度175℃下，对1000ppm氢气灵敏度为22.6。（2）通过电位、温度和溶液环境控制实现了尺度可控高比表面二氧化钛纳米管阵列薄膜的合成与构造，利用等离子体改性获得丰富微结构和吸附态的多孔道敏感阵列，比较了不同气氛热处理对纳米阵列光电性能的影响。（3）通过合金阳极氧化的方法获得了贵金属（Pd、Au）和过渡金属（W、V）原位复合的二氧化钛纳米管阵列薄膜；通过电化学沉积构筑出纳米管填充和外延的异质结敏感结构，为多元气氛检测提供了物质基础。（4）考察了多孔道复合氧化物阵列器件的气体敏感特性，表明Pd和Au的掺杂可以显著提高H2和NO2的响应特性，并对增强机理进行了探讨。探索了光促气敏的可行性，初步研究结果表明染料敏化氧化钛纳米管阵列室温下对氢气具有敏感增强作用。（5）完成了项目的研究任务。发表了SCI收录论文10篇（7篇IF>1.0）；EI收录论文5篇，申请发明专利2项。