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面向MEMS低温后道封装的膜材料选择性电磁感应局部加热及互连原理
  • 项目名称:面向MEMS低温后道封装的膜材料选择性电磁感应局部加热及互连原理
  • 项目类别:国际(地区)合作与交流项目
  • 批准号:51011140350
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人:李明雨
  • 依托单位:哈尔滨工业大学
  • 批准年度:2010
李明雨的项目