中文摘要：

结合原子分子物理中的电子能谱测量技术和纳米科学中的扫描隧道显微镜（STM）技术，在保留STM表面形貌测量的基础上对固体表面进行极微细尺度的元素分析，是实现单原子识别的一个重要途径。本项目的研究内容是建立一套基于鼓形能量分析器（Toroidal Energy Analyzer）和针尖－样品系统的测量俄歇能谱的预研究装置，对上述途径进行原理性的可行性研究，为今后研制扫描探针俄歇谱仪建立必要的物理和技术

结论摘要：

结合原子分子物理中的电子能谱测量技术和纳米科学中的扫描探针显微镜（SPM）技术，在保留SPM表面形貌测量的基础上对固体表面进行微尺度元素分析，是实现单原子识别的一个重要途径。本项目的研究内容是建立一套基于鼓形能量分析器（Toroidal Energy Analyzer）和针尖－样品系统的测量俄歇能谱的预研究装置，对上述途径进行原理性的可行性研究，为今后研制扫描探针俄歇谱仪建立必要的物理和技术基础。